Ταυτότητα
Στοιχεία ίδρυσης:
Το Εργαστήριο Ηλεκτρονικών Υλικών και Νανοηλεκτρονικών Διατάξεων της Σχολής Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Ηλεκτρονικών Υπολογιστών (ΣΗΜΜΥ) του Εθνικού Μετσόβιου Πολυτεχνείου (ΕΜΠ) ιδρύθηκε το 1981 ως Εργαστήριο Ηλεκτροτεχνίας. Μετονομάστηκε σε Εργαστήριο Ηλεκτρονικών Υλικών και Νανοηλεκτρονικών Διατάξεων με το ΦΕΚ 582/Β/23-04-2007.
Διευθυντής:
Επ. Καθηγητής Εμμανουήλ Χουρδάκης (από το 2025)
Στοιχεία επικοινωνίας:
Παναγιώτης Ζάννης, ΕΤΕΠ
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο, Σχολή Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Υπολογιστών, Ηρώων Πολυτεχνείου 9, 15780, Ζωγράφου, Γραφείο 1.2.20, 1ος Όροφος, Παλαιό Κτ. Ηλεκτρολόγων
Τηλέφωνο: 210 772 2977
Email: emmanouel_hourdakis@mail.ntua.gr
Χώροι Εργαστηρίου
Το Εργαστήριο στεγάζεται στο Παλαιό κτήριο της Σχολής στις αίθουσες 1.1.12Α, 1.1.12Β, 1.1.28 του 1ου ορόφου και 3.1.1Β του 3ου ορόφου.
Δραστηριότητα Εργαστηρίου
Το Εργαστήριο Ηλεκτρονικών Υλικών και Νανοηλεκτρονικών Διατάξεων της Σχολής ΗΜΜΥ είναι ένα από τα βασικά εργαστήρια υλικών του Ε.Μ.Π.
Το αντικείμενο του Εργαστηρίου καλύπτει τα αντικείμενα του σχεδιασμού, ανάπτυξης και χαρακτηρισμού ηλεκτρονικών υλικών, μικρο- και νανο- δομημένων ηλεκτρονικών υλικών καθώς και διατάξεων με εφαρμογή στη μικροηλεκτρονική, τη νανοηλεκτρονική, την οπτοηλεκτρονική και τους αισθητήρες. Πιο συγκεκριμένα το εργαστήριο δραστηριοποιείται στους ακόλουθους τομείς:
(α) Ανάπτυξη νανοδομημένων υλικών όπως το πορώδες Si, η πορώδης αλουμίνα, νανονήματα άνθρακα, Si και ZnO για εφαρμογές μικροηλεκτρονικής και αισθητήρων
(β) Ανάπτυξη αγώγιμων και διηλεκτρικών υλικών για εκτύπωση κυκλωμάτων, συμβατών με βιο-αισθητήρες για ιατρικές εφαρμογές
(γ) Ηλεκτρικός και οπτικός χαρακτηρισμός ηλεκτρονικών υλικών και διατάξεων
(δ) Σχεδιασμός και ανάπτυξη διατάξεων παραγωγής ενέργειας ολοκληρώσιμων με τεχνολογία Si, όπως θερμοηλεκτρικές γεννήτριες και φωτοβολταϊκά
(ε) Σχεδιασμός και ανάπτυξη διατάξεων αποθήκευσης ενέργειας στη μικροκλίμακα, συμβατών με τεχνολογία Si, όπως μικρο-υπερπυκνωτές και μικρο-μπαταρίες
(στ) Σχεδιασμός και ανάπτυξη μικρο-αισθητήρων, όπως μαγνητικοί αισθητήρες, φωτοανιχνευτές, ιατρικοί βιοαισθητήρες
Εκτός από της ερευνητική δραστηριότητα, το Εργαστήριο υποστηρίζει και το εκπαιδευτικό έργο της Σχολής μέσω διπλωματικών & μεταπτυχιακών εργασιών και διδακτορικών διατριβών
Υποδομές Εργαστηρίου
Το Εργαστήριο διαθέτει εξοπλισμό για:
Ηλεκτρικό χαρακτηρισμό
- Παλμογράφοι, πηγές ρεύματος, πηγές τάσης, ηλεκτρόμετρα, όργανα μέτρησης ρεύματος, τάσης, χωρητικότητας
- Probe stations (θερμοκρασίας δωματίου και χαμηλών θερμοκρασιών)
Δομικό χαρακτηρισμό
- AFM (Atomic Force Microscope)
Εναπόθεση Υλικών
- RF magnetron sputtering
Το Μικροσκόπιο Ατομικής Δύναμης
Probe station χαμηλών θερμοκρασιών
Probe station
RF magnetron sputtering